膜分離技術(shù)助力硅片研磨廢水回用造福半導(dǎo)體行業(yè)

時(shí)間：2022-10-17

　　制造半導(dǎo)體前，必須將硅轉(zhuǎn)換為晶圓片，晶圓生產(chǎn)包括：晶棒成長(zhǎng)、晶棒裁切與檢測(cè)、外徑研磨、切片、圓邊、表層研磨、蝕刻、去疵、拋光、清洗及檢驗(yàn)包裝工序;研磨過程之后需采用大量的超純水來洗凈晶圓表面所殘留的懸浮微顆粒或金屬離子污染物，因而產(chǎn)生CMP研磨廢液及后段清洗廢水。

　　傳統(tǒng)處理方式有諸多局限，占地大，加藥多，污泥產(chǎn)生量多，水質(zhì)不穩(wěn)定。廢水處理不當(dāng)或直接排放會(huì)污染環(huán)境，處理水不加以回收將會(huì)造成水資源浪費(fèi)。

　　晶圓硅片研磨或切割液廢水回用的處理方法屬于半導(dǎo)體制造和工業(yè)廢水處理技術(shù)。目前，膜分離技術(shù)廣泛運(yùn)用于廢水回用領(lǐng)域。基于膜的分離性能，一般微濾和超濾作為預(yù)處理使用，反滲透和納濾對(duì)經(jīng)過預(yù)處理后的水進(jìn)行更加深入的處理。

　　膜的聯(lián)用技術(shù)在廢水回用中有出眾的處理效果，可以實(shí)現(xiàn)高效，高回收率，高品質(zhì)出水的“三高”需要。膜分離技術(shù)作為新的分離凈化和濃縮方法，具有無相變、能耗低、效率高、工藝簡(jiǎn)單、操作方便和占地投資小等優(yōu)點(diǎn)，不僅可以使廢水達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)，而且可以回收部分原材料、提高水的利用率。

　　Neterfo極限分離系統(tǒng)是專為廢水處理開發(fā)的膜深度處理、回用和還原系統(tǒng)。系統(tǒng)采用PON抗污染技術(shù)和POM寬通道高架橋旁路技術(shù)，實(shí)現(xiàn)高回收率、低能耗。作為萊特萊德公司的核心技術(shù)之一，Neterfo極限分離技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)再生水回用處理的高回收率和低能耗，突破傳統(tǒng)回用系統(tǒng)回收率50%的瓶頸，綜合回收率可達(dá)90%以上。

　　從目前的很多處理方法來看，并沒有達(dá)到回用的目的，只是做到了達(dá)標(biāo)排放標(biāo)準(zhǔn)，這造成水源的浪費(fèi)。在社會(huì)經(jīng)濟(jì)日益發(fā)展的情況下，與目前所倡導(dǎo)的節(jié)能減排，節(jié)約用水的法律法規(guī)大相徑庭。膜分離技術(shù)的應(yīng)用，助力硅片研磨廢水回用，可造福半導(dǎo)體行業(yè)。

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